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用户定制或特殊应用
EBL
功率(W):10
最大输出电压(KV):100
1.100kV电子束曝光机高压电源
2.低/高10μA/100μA输出电流选择
3.小于70mV的纹波
4.出色的调节和稳定性能
5.无油/固体封装设计
6.可选USB2.0,网口,RS-232,RS485数字化通讯
7.可根据用户要求定制
产品介绍
电子束高压电源,
EBL高压电源为精密电子束高压电源应用而设计,如半导体纳米光刻,微光学和开发掩模工作。它具有低纹波和出色的稳定性规格,非常适合在这些要求苛刻的应用中使用。提供可选择的低输出电流和高输出电流范围。
电子束高压电源采用固体封装的高压部分消除了任何用户维护问题,同时将组件与环境变量隔离开来。该装置完全过载,电弧和短路保护。提供远程控制编程和监视功能。允许对高压输出进行精确的被动测量。可选USB2.0,网口,RS-232,RS485数字化通讯,可根据用户要求定制。
典型应用:
电子束高压电源
微光学
半导体光刻
半导体曝光机
掩模
产品特点:
1.100kV半导体曝光机高压电源,电子束高压电源
2.低/高10μA/100μA输出电流选择
3.小于70mV的纹波
4.出色的调节和稳定性能
5.无油/固体封装设计
6.可选USB2.0,网口,RS-232,RS485数字化通讯
7.可根据用户要求定制
电气特性:
输入电压:
220Vac,±10%,单相50/60赫兹
输出电压:
0至100kV,负极性。外部开关可选择105kV,±500伏
输出电流:
0-10μA,低范围
0-100μA,高范围
开关可选
电压调整率:
在指定输入电压范围内的额定电压的±0.001%
负载调整率:
≤20V,电流变化为25μA至60μA和60μA至25μA
波纹:
峰峰值≤70mV
高压微放电:
小于200mV
稳定性:
在6小时预热后,每8小时0.001%,温度为20℃±0.2℃
温度系数:
在10°C至40°C范围内每摄氏度25ppm
环境:
工作温度:0到40摄氏度
储存温度:-40至85摄氏度
湿度:10至90%RH,无冷凝
冷却:
对流冷却
前面板:
电源开/关开关
HV ON / OFF开关
HV ON / OFF指示灯
模拟输出电压表
外形尺寸:
10.25HX 19 WX 27 D(26.7cm X 48.3cm X 55.9 cm)
重量:
116磅(50千克)
有关威思曼及其更多高压产品的信息,请致电 086-029-88444525或访问其网站: www.bayitclub.com
威思曼高压电源有限公司是微型高压电源模块、高压电源模块、X光射线管高压电源、机箱高压电源、定制高压电源、高压附件等高压电源产品的制造商,公司设计并制造定制和标准高压电源产品,功率范围从100mW到200kW,电压范围从60V到500kV。威思曼产品应用领域覆盖医疗、工业以及科研等领域。高压电源您可以在威思曼一站式采购多个品种规格。
威思曼高压电源有限公司,公司拥有高压电源研发团队,高压电源研发软件和测试软件。高电压绝缘技术,零电流谐振技术,使威思曼高压电源保持高稳定性、低纹波、低电磁干扰、体积小,损耗小,效率高,长寿命。威思曼高压电源价格有竞争力,是OEM应用的理想选择。